Tekshiruv ishlov berish mikron darajasidan nanometr darajasiga, valtra - aniq ishlov berish 10 ta nanometrning o'lchamlari aniqligi va 1 nanometrlik pürüzlün. Semi {{4} yarim -, masalan, mexanik silliqlash va kimyoviy harakatlar bilan birlashtirilgan, mexanik silliqlash, substratni qayta ishlashda yuqori - yuqori - yuqori - yuqori - yuqori darajadagi tekislikka erishadi. Kelgusida mikro - mikro - - mikro - ning aniq talablari va optik tarkibiy qismlarning aniq talablarini qondirish uchun ko'p {{7} kompozitsion texnologiyalar va aqlli jarayonlarni boshqarish tizimiga e'tibor qaratiladi.
